ISBN/价格: | 978-7-122-22618-1:CNY30.00 |
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作品语种: | chi |
出版国别: | CN 110000 |
题名责任者项: | 薄膜技术与薄膜材料/.石玉龙, 闫凤英编著 |
出版发行项: | 北京:,化学工业出版社:,2020 |
载体形态项: | 242页:;+图:;+21cm |
提要文摘: | 本书共4章, 分别阐述了材料表面防护装饰膜层的物理气相沉积技术 (包括真空蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀镀膜) , 化学气相沉积技术 (包括简单的CVD相关理论、设备装置、CVD种类等) , 硬膜及超硬膜的制备技术 (金刚石膜、类金刚石膜、立方氮化硼膜、CNx膜及氮化物、碳化物、氧化物薄膜及复合薄膜等) , 以及利用化学、电化学反应在材料表面制备膜层的技术 (包括化学镀、化学氧化、钝化、磷化, 电镀、阳极氧化、微弧氧化等内容) 。 |
题名主题: | 薄膜技术 |
题名主题: | 薄膜 工程材料 |
中图分类: | TB43 |
中图分类: | TB383 |
个人名称等同: | 石玉龙 编著 |
个人名称等同: | 闫凤英 编著 |
记录来源: | CN ZJF 2021095 |